近年來，隨著我國(guó)新興經(jīng)濟(jì)體的經(jīng)濟(jì)發(fā)展推動(dòng)了能源消費(fèi)和二氧化碳排放的迅速增長(zhǎng)，我國(guó)二氧化碳排放總量日趨上升，排放總量已達(dá)總量1/4以上。在當(dāng)下國(guó)家大力推動(dòng)“雙碳”目標(biāo)實(shí)現(xiàn)的進(jìn)程中，努力開展溫室氣體監(jiān)控工作被推上新的高度。

什么是溫室氣體？

溫室氣體（GHC，Greenhouse Gas）是指大氣中那些吸收和重新放出紅外輻射的自然和人為的氣態(tài)成分，包括對(duì)太陽(yáng)短波輻射透明（吸收）、對(duì)長(zhǎng)波輻射有強(qiáng)烈吸收作用的二氧化碳、甲烷、一氧化碳、氟氯烴及臭氧等30余種氣體。

《京都議定書》中規(guī)定的六種溫室氣體包括如下：二氧化碳（CO2）；甲烷（CH4）；氧化亞氮（N2O）；氫氟碳化物（HFCs）；全氟化碳（PFCs）；六氟化硫（SF6）；是由于人類活動(dòng)或者自然形成的溫室氣體。

溫室氣體的危害

溫室氣體排放帶來的直接影響就是全球氣侯變暖、極惡劣天氣頻率、海平面上升、物種的迅速滅絕、有害昆蟲增加等，對(duì)人類的生產(chǎn)、生活造成極大的影響。

AtmosFIR在半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)行，高效檢測(cè)溫室氣體種類，準(zhǔn)確定性定量

       隨著半導(dǎo)體等現(xiàn)代行業(yè)的快速發(fā)展，CF4（四氟化碳）和SF6（六氟化硫）由于其穩(wěn)定的化學(xué)性質(zhì)而被廣泛應(yīng)用。由于能夠強(qiáng)烈地吸收紅外輻射和自身*的穩(wěn)定性,使得CF4和SF6成為一種變暖潛力值和生命周期*的溫室氣體。

CF4和SF6不容易被分解，在大氣中生命周期相當(dāng)長(zhǎng)，累積導(dǎo)致其溫室效應(yīng)巨大。這些氣體屬于人工合成氣體，具有相當(dāng)穩(wěn)定的化學(xué)性質(zhì)，因此，當(dāng)它排放到空氣中后，不易與其他物質(zhì)發(fā)生反應(yīng)。在長(zhǎng)的、上千年的生命周期里，雖然能在平流層及以上大氣層緩慢光解和沉降，但仍將在大氣中不斷積累，由此所帶來的溫室效應(yīng)會(huì)在相當(dāng)長(zhǎng)的時(shí)間內(nèi)不斷增強(qiáng)。

        上述氣體在半導(dǎo)體行業(yè)被使用，因此在半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中對(duì)上述氣體的泄露檢測(cè)和有組織排放的監(jiān)測(cè)顯得尤為重要，需要適當(dāng)?shù)臋z測(cè)手段監(jiān)測(cè)和控制CF4和SF6的排放濃度。

AtmosFIR便攜式傅里葉紅外氣體分析儀能夠有效地檢測(cè)排放氣體中的氣體組分。已在合肥晶合集成電路有限公司現(xiàn)場(chǎng)應(yīng)用，除了常規(guī)的無機(jī)和有機(jī)氣體組分以外，還有針對(duì)性地提供了NF3、SF6、CF4三種氣體的定量模型，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)NF3、SF6、CF4的測(cè)量。測(cè)量結(jié)果獲得客戶的好評(píng)和認(rèn)可。

合肥晶合集成電路有限公司廠區(qū)圖

現(xiàn)場(chǎng)測(cè)試                                                    監(jiān)測(cè)平臺(tái)搭建

AtmosFIR便攜式傅里葉紅外氣體分析儀

溫室氣體的有效監(jiān)測(cè)是對(duì)溫室氣體分布評(píng)估、應(yīng)對(duì)氣候變化、提出解決方案非常重要的依據(jù)。

執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)

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工作原理

樂氏科技的AtmosFIR便攜式紅外氣體分析儀，采用傅里葉變換紅外光譜技術(shù)（FTIR Spectrometer）進(jìn)行氣體分析。它是基于對(duì)干涉后的紅外光進(jìn)行傅里葉變換的原理而開發(fā)的紅外光譜儀，主要由紅外光源、光闌、干涉儀（分束器、動(dòng)鏡、定鏡）、樣品室、檢測(cè)器以及各種紅外反射鏡、激光器、控制電路板和電源組成。而紅外光又可依據(jù)波長(zhǎng)范圍分成近紅外、中紅外和遠(yuǎn)紅外三個(gè)波區(qū)，其中中紅外區(qū)（2.5～25μm；4000～400cm-1）能很好地反映分子內(nèi)部所進(jìn)行的各種物理過程以及分子結(jié)構(gòu)方面的特征，對(duì)解決分子結(jié)構(gòu)和化學(xué)組成中的各種問題十分有效。所以，中紅外區(qū)是紅外光譜中應(yīng)用*的區(qū)域。AtmosFIR氣體分析儀就是采用中紅外光譜這一范圍，因此測(cè)量更為靈敏，精度更高，范圍更廣，受干擾小，適應(yīng)性強(qiáng)。

儀器性能特點(diǎn)

采用原態(tài)采樣、過濾、分析技術(shù)，高溫180℃分析，適用于熱濕態(tài)煙氣測(cè)量；

采用1cm-1的高分辨率分析，物質(zhì)定性定量能力強(qiáng)，測(cè)試，其他分辨率可選；

氣室內(nèi)反射鏡面采用涂層，耐高溫和酸堿性腐蝕氣體；

可同時(shí)分析多種氣體組分，并進(jìn)行定性定量，分析軟件可同時(shí)顯示幾十種氣體濃度；

內(nèi)置了5000多種定性譜圖，免費(fèi)開放近400種化合物定量譜圖庫(kù)供用戶選擇，并通過檢索軟件查詢。